Метою вивчення дисципліни є формування у студентів професійних знань про фізичні принципи роботи технологічного вакуумного обладнання, іонно-плазмової і електронно-іонної обробки матеріалів в технологічному плані, і конструктивних особливостей відповідного устаткування.

Задачі вивчення дисципліни: ознайомлення з основними законами фізики вакууму; вивчення принципу роботи вакуумного обладнання; створення цілісного уявлення щодо процесів,які відбуваються в матеріалі при впливі на нього електронних і іонних потоків,  особливостях плазмохімічних реакцій синтезу корозостійких і зносостійких покриттів.

Після засвоєння матеріалу навчальної дисципліни студент повинен:

Знати:

– сучасні технологічні методики одержання та вимірювання вакууму;

– основні закони фізики плазми;

– фізичну сутність процесів взаємодії пучків заряджених частинок з речовиною;

– конструктивно-технологічні особливості обладнання, що використовують для модифікації властивостей поверхні матеріалів та створення покриттів методами іонно-плазмової і електронно-іонної обробки.

Розвинути уміння:

– класифікувати пучки заряджених частинок за властивостями і технічним застосуванням;

– правильно вибирати вакуумне обладнаннята методи модифікації властивостей поверхні матеріалів під конкретну технологічну задачу;

– аналізувати можливості покращення властивостей існуючих матеріалів методами іонно-плазмової і електронно-іонної обробки;

Розвинути навички:

– в роботі з вакуумним обладнанням;

– в застосуванні методів іонно-плазмового розпилення для одержанні плівкових матеріалів, які використовуються у виробах електронної техніки, пристроях мікро- і наноелектроніки.

Місце дисципліни у навчальному процесі

Дисципліна є складовою підготовки бакалаврів за напрямом «Електронні пристрої та системи»,пов’язана з нормативною дисципліною професійної підготовки: «Технологічні основи електроніки» та є основою підготовки до вивчення дисциплін«Технологія тонких плівок», «Електронна та іонна оптика», «Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів», «Основи мікроелектроніки», «Спектральні електронні прилади». Вивченням дисципліни «Основи вакуумних і пучкових технологій» забезпечується виконання бакалаврської роботи зі спеціальності (8-ий семестр) та магістерських (дипломних)робіт.

Викладання дисципліни базується на знаннях, отриманих студентами в процесі вивчення таких дисциплін: загальна фізика, фізика твердого тіла.