Обрати сторінку

Електронні мікроскопи, мас-спектрометри, електронно-променеві трубки, прискорювачі – це далеко не весь перелік приладів, заснованих на принципах електронної та іонної оптики. Однією з основних функцій електронних та іонних приладів є формування, фокусування й відхилення електронних та іонних пучків електричними і магнітними полями.

Для правильного конструювання і створення нових видів електронно-променевих приладів, а також їх кваліфікованої експлуатації необхідно чітко уявляти для себе закони руху заряджених частинок в електричних та магнітних полях, чому приділено значну увагу в рамках даного курсу.

У рамках дисципліни розглянуто елементи геометричної електронної оптики, в якій не враховуються хвильові властивості електронів, які в більшості положень електронної оптики не відіграють значної ролі. Виключення становить лише розділ, у якому розглядається явище дифракції електронів в лінзах електронного мікроскопа, де визначним фактором є хвильові властивості електронів.

Досить детально розглянуто принцип дії, оптичні характеристики та їх розрахунок для різноманітних типів електростатичних і магнітних лінз, що мають симетрію обертання, та основні види їх аберацій. Розглянуті також лінзи, що не мають симетрії обертання, так звані квадрупольні лінзи. Приділено увагу дії просторового заряду в електронних пучках, що особливо істотно в електронно-променевих пристроях з великим струмом пучка і при незначних прискорюючих напругах.

Практично у кожній темі наведені приклади, що ілюструють основні положення вивченого матеріалу. Вони сприяють більш глибокому розумінню курсу “Електронна та іонна оптика”.