Мета викладання дисципліни – формування у студентів поглибленого розуміння основ технології одержання, структурних і
функціональних особливостей плівкових матеріалів, які мають широке застосування у мікроелектроніці та плівковому
приладобудуванні. Питання, які розглядаються в даному курсі, викладаються з таким ступенем деталізації, що можуть знадобитися в
практичних умовах отримання методами термічного, іонно-плазмового і реактивного напилення багатошарових плівкових систем для
оптичних і мікроприладів, захисних покриттів для різних конструкцій і деталей. Задачі викладання дисципліни пов’язані з необхідністю
отримання бакалаврами знань, вмінь та навичок щодо отримання і вивчення механічних властивостей (адгезія, макронапруження та
критична температура конденсації) та структурного стану тонких металевих плівок і покриттів.
Після засвоєння матеріалу навчальної дисципліни студент повинен:

ЗНАТИ:

• методи вимірювання товщини плівкових матеріалів;
• особливості їх структури і субструктури;
• різницю між нанокристалічними і аморфними речовинами;
• типи і механізми старіння плівкових матеріалів.

ВМІТИ (на експериментальному та діагностичному рівні):

• отримувати плівкові матеріали з наперед заданою кристалічною структурою, товщиною і порядком чергування шарів;
• вимірювати товщину, величину макронапружень і адгезію та критичну температуру конденсації;
• розраховувати енергію активації заліковування дефектів кристалічної будови.