Представлені результати експериментальних досліджень тензорезистивного ефекту в одношарових плівках і дво- та тришарових плівкових системах на основі Cr і Cu або Fe та Pd і Gd у інтервалах двохдеформації Δεl1 0—1% і Δεl2 0—2%. Проаналізовано залежність межі переходу від пружної до пластичної деформації у досліджуваних плівках від товщини та концентрації компонент у багатошарових плівкових системах. Встановлено, що пластична деформація в одному із шарів плівкової системи може викликати аналогічну деформацію у всій плівковій системі, навіть якщо для інших шарів діапазон деформації ще не досягнув межі переходу пружна/пластична деформація.