У роботі запропоновано підхід до використання генетичних алгоритмів при обробці експериментальних даних, отриманих методом нуль-еліпсометрії при дослідженні багатошарових плівкових структур. Показано, що генетичні алгоритми можуть бути застосовані при знаходженні фізичних розв’язків у системах, які мають велику кількість невідомих параметрів.