Використовуючи оптичні елементи компанії Torhlabs та систему графічного програмування LabVIEW 2010, розроблено автоматизований програмно-апаратний комплекс для дослідження оптичних властивостей багатошарових плівкових систем. Запропоновано сумісний генетичний алгоритм для обробки експериментальних даних нуль еліпсометрії та рентгенівської рефлектрометрії. Показано, що запропонований підхід дозволяє дуже точно інтерпретувати фазові перетворення, дифузійні процеси та розмиття інтерфейсів в багатошарових плівкових системах при використанні різних розрахункових теоретичних моделей.