Обрати сторінку

To calculate the optical parameters of multilayer-film systems we suggest the joint genetic algorithm – the adaptive search method. Software developed in LabVIEW 8.6 includes 6 computing modeles that make possible the studying of complex systems with different kinds of roughness geometry, diffusion and intermediate layers.

Для исследования структурно-фазовых наноразмерных сенсорных пленочных структур широко используются такие экспериментальные методики, как нуль-эллипсометрия и рентгеновская рефлектометрия (XRR). В данной работе для повышения точности определения оптических параметров многослойной пленочной системы, предложено использовать совместный расчетный алгоритм для  этих методов. Обработку их экспериментальных данных можно проводить при помощи разных математических алгоритмов: Монте-Карло, Левенберг-Марквардта, Метрополиса, координатного спуска, убывающего симплекса, прямого поиска. Недостатком этих расчетных методик является попадание в локальный минимум или не учет геометрии объективной функции в параметрическом пространстве. В этом случае преимуществом обладает генетический алгоритм (ГА), который, кроме того, способен работать одновременно с большим количеством неизвестных. Это свойство незаменимо при решении обратной задачи эллипсометрии, когда по двум экспериментально определенным величинам необходимо найти большое количество параметров системы (толщину, плотность, шероховатость, оптические показатели преломления каждого слоя).