Бурхливий розвиток різних галузей плівкового матеріалознавства (мікро- і наноелектроніка, мікроприладобудування, сенсорна техніка) є постійним стимулом розвитку необхідної експериментальної техніки. Мова йде насамперед про сучасні методи просвічуючої і растрової електронної мікроскопії високої розрізнювальної здатності, про методи аналізу хімічного та елементного складу плівкових матеріалів. Поряд з цим методи електронографії, дифракції повільних електронів, рентгено-фазового аналізу, які були достатньо розвинутими ще до появи ПЕМ, РЕМ і різних спектральних методів аналізу (РМА, ОЕС, РОР, ВІМС і т.п.), не втрачають своєї значущості, а у сукупності зі зазначеними сучасними методами стають ще більш ефективними. Мета даного посібника полягає у вирішенні двох завдань – узагальненні широкої інформації про будову та принцип роботи електронно-променевих і спектральних приладів та у викладенні експериментальних методів аналізу кристалічної структури, фазового й хімічного складу методами ПЕМ, РЕМ, РМА, ОЕС, ВІМС та іншими сучасними методами.